导读10月28日至31日，由中国科学院人事局资助、中国科学院上海硅酸盐研究所主办的第二届“半导体材料与器件量测和检测技术”培训班在上海成功举办。本届培训班汇聚了来自全国的科研院所、高校和企事业单位的半导体领域专家与科研人员。莱伯泰科作为被邀请参会的国产高端科学仪器代表企业，携自主研发的LabMS5000电感耦合等离子体串联质谱仪亮相会场，并分享了国产质谱技术在半导体领域的最新应用进展及成果。会上，莱伯泰科质谱事业部ICP-MS产品经理陈磊在培训班上作了题为《国产ICP-MS/MS检测湿电子化学品的最新应用进展》的专题报告。在集成电路的制造过程中，湿电子化学品扮演着至关重要的角色，它们不仅是制造工艺的“血液”，更是确保产品质量与性能的关键因素。陈磊经理详细介绍了公司自主研发的LabMS 5000质谱仪在半导体湿电子化学品检测中的技术突破，该仪器凭借高灵敏度、低检测限及优异的抗干扰能力，可精准检测湿电子化学品中痕量金属杂质，为半导体工艺质量控制提供可靠数据支撑。LabTech展会现场，莱伯泰科展出的LabMS5000引发广泛关注。LabMS 5000作为国内首款通过国际半导体产业协会SEMI S2认证的电感耦合等离子体串联质谱仪，其检测精下限达到ppt级及亚ppt级，可满足先进制程工艺对痕量元素分析的严苛要求。该产品的成功研发，不仅打破了进口设备长期垄断的局面，更为国内半导体产业链自主可控提供了关键检测装备支撑。LabTech公司董事长胡克博士曾在近期行业会议上指出，国产科学仪器要实现从“配角”到“主角”的转变，必须突破技术壁垒、深耕应用场景、加强产业生态协同。莱伯泰科正是凭借“场景驱动创新”的战略，围绕半导体材料在线检测等新兴领域，开发高度适配本土需求的定制化仪器设备。目前，莱伯泰科已与多家半导体龙头企业建立深度合作，为提升国产半导体材料质量管控水平提供了重要技术保障。公司负责人表示，未来将持续聚焦半导体产业链检测需求，加速推进高端科学仪器国产化进程，助力中国半导体产业高质量发展。LabTech

企业动态 2025年11月06日